Silikon içinden kızılötesi görüntüleme ile bağlantı boşluğu tespiti
Bağlanmış wafer çifti, alttan kızılötesi ışıkla üst kamera arasında incelenir. Geçen ışığın kontrastı bağlantı boşluklarını ortaya çıkarır; bölgeler haritada işaretlenir.
Boşluk alanı ve bölge konumları wafer kaydına yazılır. Uygunsuz wafer bekletilir; bağlantı haritası ekranda ve karar sinyali kontrol biriminde gösterilir.
- 01 Yerleştirme
- 02 Geçirgen görüntü
- 03 Bölge analizi
- 04 Karar
Wafer çifti açık merkezli desteğe oturur.
- Boşluk alanı
- —
- Boşluk bölgesi
- —
Sahneler temsilî simülasyonlardır; müşteri referansı veya performans garantisi değildir.
İhtiyaç
Bağlantı arayüzü silikon katmanların altında kalır ve görünür ışıkta doğrudan incelenemez. Katman kalınlığı ve yüzey yapısı geçirgen görüntüde zemin değişimleri oluşturur.
Çözüm yaklaşımı
SWIR aydınlatma destek halkasının altından, uygun geçirgenliği olan silikon yapının içinden kameraya yönelir. Zemin referansı çıkarılmış görüntüde kapalı kontrast bölgeleri bulunur; alan ve bağlantı sürekliliği kural tabanlı olarak değerlendirilir.
Süreç adımları
- 01
Yerleştirme
Wafer çifti açık merkezli desteğe oturur.
- 02
Geçirgen görüntü
Alt kızılötesi ışık üst kameraya geçer.
- 03
Bölge analizi
Arayüz kontrastındaki kapalı bölgeler ölçülür.
- 04
Karar
Boşluk haritası kaydedilir ve taşıma izni belirlenir.
İlgili uygulamalar
Uygulamanızı birlikte fizibilite edelim
Numunenizi laboratuvarımızda test eder; çözünürlük, optik ve aydınlatma seçimini raporlarız.