Wafer çentiğinden açısal yön belirleme ve hizalama
Wafer döner tablaya oturur; alttan aydınlatılan dış konturda çentik bulunur. Çentik açısı referansla karşılaştırılır ve tabla wafer yönünü düzeltir.
Çentik koordinatı ve açı farkı hareket kontrolüne iletilir; tabla wafer yönünü düzeltir. Yeniden ölçülen açı, sonraki taşıma için serbest bırakma kararını belirler.
- 01 Yerleştirme
- 02 Görüntü
- 03 Açı bulma
- 04 Düzeltme
- 05 Doğrulama
Wafer merkez tutucuya yerleşir.
- Çentik açısı
- —
- Açı sapması
- —
Sahneler temsilî simülasyonlardır; müşteri referansı veya performans garantisi değildir.
İhtiyaç
Wafer çevresi büyük ölçüde daireseldir; küçük çentik yansıma veya taşıyıcı kenarıyla karışabilir. Açısal referans olmadan sonraki taşıma yanlış yönde gerçekleşir.
Çözüm yaklaşımı
Üst kamera, merkez tutucunun dışında kalan wafer çevresini arka ışıkla siluet olarak görüntüler. Daire konturundan içeri sapma çentik olarak bulunur; merkezden çentiğe uzanan doğrultu referansla karşılaştırılıp döner tablaya açı düzeltmesi gönderilir.
Süreç adımları
- 01
Yerleştirme
Wafer merkez tutucuya yerleşir.
- 02
Görüntü
Arka ışık dış konturu belirginleştirir.
- 03
Açı bulma
Çentik doğrultusu referansla karşılaştırılır.
- 04
Düzeltme
Tabla ölçülen açı farkını giderir.
- 05
Doğrulama
Düzeltilen yön tekrar kontrol edilir.
İlgili uygulamalar
Uygulamanızı birlikte fizibilite edelim
Numunenizi laboratuvarımızda test eder; çözünürlük, optik ve aydınlatma seçimini raporlarız.