Wafer mikro deseninde normal referanstan yerel yenilik tespiti
Wafer mikro deseninde yeni bir yerel yapı bilinen hata setinde bulunmayabilir. Tüm die için tek sınıf vermek yeniliğin konumunu ve normal desenle ilişkisini saklar.
Wafer ROI ve yerel skor haritası incelemeye saklanır; die elektriksel sonucu çıkarılmaz. Yeni desen bölgesi operatör tarafından doğrulanana kadar bekletilir.
- 01 Normal referans
- 02 Yeni görüntü
- 03 Yerel karşılaştırma
- 04 Skor eşiği
- 05 İncelemeye aktar
Yalnız normal örneklerin temsili referans galerisi seçilir.
- Yerel anomali skoru
- —
- Eşik aşan alan
- —
- Temsilî skor eşiği
- —
Sahneler temsilî simülasyonlardır; müşteri referansı veya performans garantisi değildir.
Çözüm yaklaşımı
Normal örneklerin yerel özellik referansı ile yeni ROI karşılaştırılır. Ham görüntü, normal referans ve sürekli anomali haritası ayrı gösterilir; skor eşiği kusur türü değildir. Desen ölçeği sabitlenir; normal patch galerisi karşılaştırma için açılır. Sürekli yerel skor haritası mikro desen yeniliğini işaretler.
Süreç adımları
- 01
Normal referans
Yalnız normal örneklerin temsili referans galerisi seçilir.
- 02
Yeni görüntü
Yeni numune aynı aydınlatma ve kayıt koşulunda görüntülenir.
- 03
Yerel karşılaştırma
Yerel özellik farkı sürekli ısı haritası ile görünür kılınır.
- 04
Skor eşiği
Yerel skor ve eşik aşan alan ayrı ölçütler olarak gösterilir.
- 05
İncelemeye aktar
Anormal örnek otomatik kusur adı verilmeden operatöre bekletilir.
İlgili uygulamalar
Uygulamanızı birlikte fizibilite edelim
Numunenizi laboratuvarımızda test eder; çözünürlük, optik ve aydınlatma seçimini raporlarız.